数控加工机床之后,又还有高精度的检测装置,同时还有一个最为难以通过的难关:打磨透镜。
甭以为有了这么牛逼的设备和装置,就可以高枕无忧了,随时都可以打磨出符合极紫外光刻机要求的透镜了。
没那么简单!
要知道,极紫外光刻机需要的透镜,精度之高,前所未有。
只因为极紫外光刻机需要通过精准控制激光器,连续两次照射滴落的液态小锡球,才能够得到波长十三点五纳米的稳定极紫外光。
可是这时候的光源并不能直接拿来使用,还需要经过一系列发射镜片不断地矫正,才能成为可用光源。
在每次反射的时候,都会增加误差,这就要求镜面的平整度极高极高,必须比光刻尺度还要低上一千倍。
可怕的数据要求!
同时,对每块透镜的位置、姿态、间距都有严格的要求,比如位置误差必须小于一纳米。
最后,也是最关键的一点,还必须要尽量消除光损失而产生的热量,以防止热变形从而影响光路。
即便如此,极紫外光在通过这些镜片时,仍然会有大约百分之三十的吸收率,最终真正用于光刻芯片的光强大概也就只剩下百分之二。
因此,在整个透镜的制造过程,从制造透镜的超精密数控机床开始,再到最后的透镜放置等,那都是有一套极为严苛的技术流程。
这就是为什么当初,陈国华一而再,再而三地强调,极紫外光刻机非常难以制造复刻出来的原因之一。
同样的道理,陈国华也想将量子芯片、量子纠缠传输技术等拿出来,可问题是,以现如今内地的技术积累和人才积累,怎么可能做得到呢?
都说心急吃不了热豆腐,这个道理可不是随便说说的。
半天时间过去,等到陈国华来到饭堂的时候,已经是临近下午两点的时间。
章济川他们那群人是真的不怕肚子饿,说什么也要解决他们的问题,才愿意放陈国华离开。
当天傍晚,陈国华下班回到家,意外看到了一位想不到的客人。
“我去,疯子?真是你小子?”
翠花胡同门口站着的一个瘦子,那是真的有一种皮包骨的感觉,同时还有一点黝黑。
陈国华看到对方的时候,一时间都不敢相认,借助汽车的灯光,这才稍微看清楚一点罗峰的脸庞轮廓,认出对方就是他的老朋友疯子。
“老陈,好久不见!”
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