斯密特坐在办公室,眉头紧锁。他从哈佛商学院毕业后,原本想大展拳脚,做出一番事业,但是谁知道天不随人愿。
家大业大的飞利浦竟然要压缩他们对于阿斯麦的投资。这个主要是因为阿斯麦太烧钱了,而研发出的光刻机始终停留在传统 193nm。
深紫外光刻机推进到芯片的 65nm 水平时,遇到了前所未有的瓶颈。
日本的微影双雄尼康和佳能选择的技术路线是:继续降低曝光波长,开发波长更短的 157 nm 深紫外光刻机。
本来按照飞利浦的意思,阿斯麦也可以选择尼康和佳能的路子走,这样虽然突破会慢一些,但是烧钱少,稳当。
而此时担任阿斯麦总裁的斯密特却决定另辟捷径,走出一条不一样的路子。但是来子飞利浦的压力太大了。
最后斯密特一咬牙,集资化缘,砸锅卖铁,从飞利浦手中赎回了阿斯麦公司的股份,从而使公司变成了独立公司,再也不受外力操控。
只不过这样一来,公司资金也用尽了,而这样一家高科技公司本就是专门烧钱的,一旦没了钱,你就是独资又有毛用?
斯密特这一阵儿正为此事搞得焦头烂额,满脑子都是花花绿绿钞票。
因为烧钱太厉害,一般的投资公司是不敢涉足他们这种行业的,开玩笑,几十亿欧元咋进去,连个水花都看不见。
资本逐利,但是也得看得见的利啊?拿钱往水里扔,那是傻子。
而且,现在关于阿斯麦公司还有一个传说,那就是斯密特决定要采用台积电工程师林本坚关于以水为介质,可以制造浸润式光刻机想法。
当时,阿斯麦的主要竞争对手尼康和佳能,对浸润式光刻机前景并不看好,一直主攻更短波长的深紫外光源。也就是所谓的干刻。
当时林本坚已经已经找遍了当时能够制造光刻机的公司。不是没人对他这个创意没有想法,但是胆量都不够。
林本坚的想法是在镜头与晶圆曝光区域之间的空隙充满高折射率的水,水对 193 nm 紫外光的折射率为 1.44,从而实现在水中等效波长为 134 nm,从而一举实现 45nm 以下制程。
要知道当时的芯片都卡在了63nm,他这个45nm的构想无疑是颠覆性的。
但是既然是颠覆性,那么可操作的难度有多大也就可想而知了,花多少钱?用多少年?这是一个没人敢碰触的大课
本章未完,请点击下一页继续阅读!