众所周知,光刻机是芯片制造领域中最复杂、最昂贵的设备!
没有之一!
光刻工艺的费用在整个芯片制造过程中占据三分之一左右的比重,且其耗费的时间也占据了整个制造流程的40%-50%。
可以说,光刻工艺及其所需的光刻机是整个芯片制造过程中的核心与灵魂。
全球生产制造光刻机的公司并不多。
之所以很少,主要有三个原因。
第一,光刻
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