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第二百八十四章 技术路线

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老、医疗、教育等多个因素,申海能在这方面给予新芯这个力度的支持,更别提在土地、水电、金融等领域的支持了。

老实说申海的地方银行和金融类企业很想放款给新芯科技,问题是新芯科技这方面的需求不大。

至于土地方面,正是因为新芯在张江,帮助张江片区的房价几乎是每年一个样,每年上一个台阶。当下地方政府已经开始依赖土地收入了。

更别提新芯在张江带动的上下游产业链,创造的就业岗位了,因此张江直接批了一整块地给新芯,新芯相当于在张江高科技园区的范围里建了自己的产业园。

这块产业园目前不仅新芯自己在用,同时还把部分闲置的区域租给了其他芯片公司。

“林叔,我认为浸润法会是一个可行的技术路线,和现在的干式光刻机相比,在曝光区域和光刻机透镜之间充满水,可以利用折射让光源的波长更短。”

经过这三年的一起工作,周新和林本坚之间建立了充分的信任基础,因此像这种技术机密他能直接告诉对方。

信任基础是一方面,另外双方的利益通过新芯半导体高度绑定又是另一方面,周新不仅给了林本坚新芯光刻机的股份,还考虑到新芯光刻机在短期很难创造效益,甚至因为阿美利肯的打压长期都无法创造效益,因此除了新芯光刻机股份之外,还给了对方新芯科技芯片代工这一板块的期权。

这是台积电绝对开不出的待遇。

林本坚听完后说:“我本来也打算和你说我的想法,我正打算和新芯光刻机的同事们一起写几篇论文发给你,说服你选择浸没式,好吧你叫浸没式,其实我们打算叫它湿法光刻机。”

是的,林本坚也打算在新芯光刻机130nm制程工艺的光刻机上采取浸没式的技术路线。

周新听完后倒也没有特别惊讶,作为光学领域的顶级牛人,林本坚能想到湿法并不奇怪,周新问起另一个问题:“为什么要争取我的同意?

之前我们在沟通要做光刻机这件事的时候,不就说好了,我不会干预新芯光刻机的经营,经营全权交给你吗?”

林本坚点头:“之前我们确实是这样沟通的,但是现在情况又不一样,要走湿法光刻机的路线,是在和全世界为敌。

我们需要说服光刻机各种元器件的供应商,尤其是蔡司,和我们配合,我们做过湿法光刻机的预研究工作。

和干式光刻机相比,我们需要改变镜头组,之前的透镜组合可能无法满足我们的


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