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第三百二十四章 芯片供给不足?光刻工厂正式投入量产!

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以免影响到后面的光刻。

五条生产线同时启动,数个清洗台和烘干设备都在作业。

短暂等待过后,半导体硅片已经彻底干燥,磁吸运输设备将它们运往下一个步骤,涂抹光刻胶。

自动取片。

自动清洗。

自动涂胶。

自动光刻。

光刻工厂的自动化流水线,让赵思秋目瞪口呆,难以想象这居然是自己国家的流水线,西方也没有这么先进的吧?

其他人则比较淡定,因为上次已经见识过了。

当ArF光刻正胶涂抹完成,它们将自动运输到光刻区域。

值得一提的是,光刻工厂有上百个光刻区域,这些光刻区域是可以挑选和建设的。

例如我需要13.5纳米波长的极紫外光,就可以在光刻工厂停止运行后,调整光刻位置和参数,就拥有了13.5纳米波长的光刻区域。

再比如说,我不需要13.5纳米波长的极紫外光,我需要7纳米的,同样可以把13.5纳米波长的光刻区域调整到7纳米光线区,就拥有7纳米的光刻区域。

灵活取光运用,也是光刻工厂的一个优势。

随着半导体硅片抵达指定区域,透镜组设备立即移动到指定位置,13.5纳米波长的极紫外光发生了折射,精准地照射在光掩膜版上,上面的完整图案被照射后,最终落到待曝光的半导体硅片表面。

“滋——”

ArF光刻正胶遇到光源,内部开始发生化学反应。

当整块半导体硅片被光刻了一遍,它也随之前往下一个步骤,清洗光刻胶。

……

控制室的众人目睹全自动化生产,没有一人说话,都在紧张等待最终的结果。

上次是生产完成一次后,光刻工厂出现电能不稳定情况,现在五个工作台一起启动,如果能完美运行一小时,就说明之前的努力都是有用的。

清洗。

切割。

测试。

检验报告传回。

林天看着数据,看向陈星道:“上帝芯片数据没有问题,全部参数都达标了。”

“好。”

陈星微微颔首。

这个结果上次已经知道了,他现在最想知道的是,光刻工厂这次能运行多长时间。

“滴答滴答——”

时间一分一秒过去。

半小时。


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