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第二百四十四章 举国之力的产物

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润式光刻机的前置技术。

大量的子系统都是通用的,或者是改进后就能用的。

这解决的是0-1的问题,后续DUV干式光刻机到DUV浸润式光刻机,那是1-9的问题。

尽管1-9也非常困难,但是有了这个1打基础,那么后续搞起来才有目标,有头绪啊!

有了这个DUV干式光刻机后,徐申学也就能够真正畅想数年后把DUV浸入式光刻机弄出来了。

只要把DUV浸润式光刻机给弄出来,再配搭其他核心设备以及耗材,未来很多年都不用担心被制裁封锁了。

因为DUV浸润式光刻机,使用多重曝光技术,是可以做出来等效7纳米的芯片的。

甚至极端一些,都能做到等效5纳米的芯片,只不过成本会很高而已……

全面可自主的等效7纳米芯片工艺技术,这对智云,对华夏的意义极其重大。

而等效5纳米工艺的意义更大,哪怕它的生产成本比用EUV光刻机生产等效五纳米工艺的芯片高得多,甚至通常情况下都不具备商用价值!

但是,其实际意义依旧重大,因为这解决的是有无问题!

人家的EUV光刻机制造的五纳米,甚至三纳米,二纳米的芯片,尤其AI芯片那是各种好,问题是你买不到啊……

这个时候,自家如果有等效五纳米工艺的芯片,尤其是AI芯片,也能勉强顶上去,性能差一些总比没有强!



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